•이온주입 장비 PM(예방적 유지보수) 작업은 비소 및 그 무기화합물, 아르신 가스 등 발암 가능 물질 노출 위험이 있으며, 고에너지 이온주입 장비는 방사선 안전 관리도 필요한 특수 직무 환경이다. SK하이닉스 메인트(Maintenance) 직무는 이온주입·노광·식각·증착·CMP·세정·계측·유틸리티 전 공정 장비를 관리하며, Zero-Down Time(무정지 생산)을 목표로 고장 진단·조치·재발 방지 프로세스를 주도한다. Axcelis Technologies는 전 세계에서 이온주입기를 생산하는 몇 안 되는 전문 업체 중 하나로, 한국·일본·중국 등 아시아 9개국에 서비스 거점을 운영한다. 반도체 소자 제조에서 이온주입 단계는 CMOS 공정 기준 60회 이상 반복 적용되며, 장비 가동 중단 한 번이 반도체 수율에 직접 영향을 미치기 때문에 예방 점검과 신속한 이상 대응이 핵심이다. 삼성전자 설비기술연구소는 반도체 8대 공정 장비 R&D·평가, 스마트팩토리 장비 자동화, AI 기반 장비 최적화 연구를 수행하며, 기술자와 연구원 간 협력 기반을 제공한다.