주요 업무
수행 직무
- ▶ 반도체금속막증착공정연구원은 차세대 반도체 소자 배선 구조에 적합한 금속막 증착 공정을 연구·개발하는 역할을 담당한다.
- ▶ 반도체 기술 로드맵(ITRS)과 고객 요구 성능을 분석하여 공정 목표를 수립하고, 새로운 금속 소재(루테늄·몰리브데넘 등)와 증착 메커니즘을 탐색한다.
- ▶ 시험 평가를 통해 박막 특성(비저항·계면 접착력·배리어 성능 등)을 최적화하며, 생산라인 이관을 위한 공정 스펙과 품질 조건을 확립한다.