주요 업무
수행 직무
- ▶ 반도체 포토리소그래피 공정에 사용되는 장비(포토트랙, ArF·EUV 스캐너, 계측 장비)의 성능을 평가하고 공정 통합 최적화를 연구한다.
- ▶ 신규 장비 도입 시 공정 적용성 검증 실험을 설계하고, 장비 파라미터(온도·회전속도·노광량)와 공정 결과(CD 선폭·오버레이·결함 밀도) 간의 상관관계를 분석한다.
- ▶ 장비 제조사와 공동으로 장비 개선 사항을 도출하고, 수율 영향 요인을 분석하여 공정-장비 인터페이스를 최적화한다.
- ▶ 신규 공정 노드 전환 시 기존 장비의 공정 한계를 평가하고 차세대 장비 요구 사항을 정의하는 역할도 수행한다.