주요 업무
수행 직무
- ▶ 반도체 포토리소그래피 장비의 핵심 부분품(광학 렌즈·다층 반사경·웨이퍼 스테이지·레티클 스테이지·광원 모듈 등)의 성능 개선 및 신규 부품 개발 연구를 수행한다.
- ▶ 부품 소재 선정, 설계 최적화, 시제품 제작 및 성능 평가 실험을 담당하며, 장비 제조사와의 공동 연구를 통해 부품 사양을 정의하고 납품 품질을 검증한다.
- ▶ 광학 수차 분석, 열변형 특성 평가, 진동 저항성 시험 등 다양한 부품 성능 시험을 수행한다.
- ▶ 차세대 장비(High-NA EUV 등)에 적용 가능한 신기술 부품을 연구하고, 국내 부품 자립화를 위한 기술 개발 과제를 수행한다.