주요 업무
수행 직무
- ▶ 반도체이온주입장비공정연구원은 이온화·가속·주입량·이온분산·공정 모듈 각각의 목표성능을 정의하고, 기구·소프트웨어설계연구원과 협력해 전체 장비 구성을 기획한다.
- ▶ 시험장비 설치 후 핵심요소기술 중심으로 기초 공정성능평가를 진행하고, 개선 필요 부품·장치를 선정해 신규 개발을 요청한다.
- ▶ 이온주입장비의 기획·제작·시험평가 결과를 고객과 지속 공유하며 공정·장비 신뢰성 평가계약을 유도하고, 종합품질 및 생산성 검증평가를 실시해 이온주입장비 인증을 획득한다.
- ▶ 국내외 학회·세미나·연구기관에서 획득한 소재·부품·장치·공정 기술을 시험평가하고, 경쟁사 대비 비교우위와 반도체 생산라인 기준 공정 신뢰성 목표달성을 고려한 R&D 활동을 수행한다.