주요 업무
수행 직무
- ▶ 반도체화학기상증착공정연구원은 소자공정연구원과 협력하여 차세대 반도체 소자의 배선·절연·전극 구조 형성을 위한 CVD 공정을 연구·개발한다.
- ▶ 주요 업무는 CVD 장비의 온도·압력·가스 유량·플라즈마 파워 등 공정 파라미터를 설계하고 최적화하는 것이며, 박막 두께·막질·단차피복성·균일도를 계측·분석하여 수율과 품질을 향상시킨다.
- ▶ SPC(통계적 공정 관리) 데이터를 매일 점검하며 이상 신호 발생 시 장비 로그와 레시피를 분석해 원인을 추적하고, 설비·소재·소자팀과 협업하며 신물질 Precursor 개발에도 참여한다.