주요 업무
수행 직무
- ▶ 퍼니스(Furnace) 장비를 이용한 실리콘 웨이퍼 산화·확산·어닐링 공정을 설정하고 운용한다.
- ▶ 이온주입기(Ion Implanter)의 빔 에너지·도즈·기울기(Tilt) 파라미터를 설정해 웨이퍼 내 도펜트 프로파일을 제어하며, ALD/CVD 장비를 활용한 고유전율(High-k) 박막과 질화막 증착 공정도 수행한다.
- ▶ 공정 후 타원계(Ellipsometer)·이차이온질량분석기(SIMS)·박막 두께 측정기 등 분석 장비로 공정 결과를 검증하고 이상 발생 시 원인을 분석해 공정 조건을 최적화한다.
- ▶ 신규 소자 개발에 맞춘 공정 레시피 설계와 양산 이관을 담당하며, 클린룸 내 장비 유지보수 및 안전 절차 준수도 중요 업무다.