주요 업무
수행 직무
- ▶ 반도체 금속막 증착(PVD·CVD·ALD)·식각(건식·습식)·CMP 공정 조건을 실험 설계(DoE)를 통해 최적화하고, 공정 파라미터와 박막 특성 간의 상관관계를 분析한다.
- ▶ 개발된 공정을 실제 소자에 적용하여 전기적 특성 및 신뢰성을 평가하고, 공정 불량 원인을 분析하여 수율 개선 방안을 도출한다.
- ▶ 새로운 금속 소재 또는 공정 기술을 검토하여 차세대 소자 요구 조건에 부합하는 공정 로드맵을 수립한다.
- ▶ 공정 데이터 분析과 SPC(통계적 공정 관리)를 통해 공정 안정성을 확보한다.