주요 업무
수행 직무
- ▶ 반도체장비의 기구장치, 전기장치, 주변장치 및 배관부품의 조립상태를 확인하고, 도면에 기준하여 각 장치를 설치한 다음, 전원을 공급한다.
- ▶ 기구장치, 주변장치 및 배관부에 가스, 초순수 및 화학약품 등 유체를 공급하여 조립 신뢰성을 확인, 보완작업을 수행한다.
- ▶ 로봇·모터 등 기구장치, 전기장치, 유체공급장치의 단위동작 성능을 평가, 교정, 검증 작업을 수행한다.
- ▶ Main 및 Control PC에 소프트웨어 프로그램을 설치한 다음, 프로그램의 정상 실행 여부를 평가, 수정한다.
- ▶ 주요 장치부에 대한 시스템 입출력 특성 점검을 통해 교정 및 수정 작업을 실시하고, 문제발생에 따라 보완계획을 수립하여 조치한다.
- ▶ 각 장치부의 제어기, 센서, 밸브, 스위치 및 레귤레이터 등 주요 제어부품의 성능을 평가하고, 보완한다.
- ▶ 반도체장비 및 공정 신뢰성 평가를 위해 공정대상 기판, 각종 화학약품, 광학부품 및 검사보드의 구성, 동작 및 특성을 이해한다.
- ▶ 장비 주요 기구부에 기판 또는 유체를 공급하여 하드웨어 및 소프트웨어 신뢰성 평가를 실시하고, 보완한다.
- ▶ 각 배관부와 연결된 유체공급장치, 펌프, 가스 캐비닛, 스크러버 등 주변 장치의 성능 평가를 실시하고, 보완한다.
- ▶ 반도체장비 전체 운영 소프트웨어 프로그램을 이용하여 고객 요구수준을 만족할 수 있도록 장비 신뢰성 평가, 보완, 검증 작업을 반복 수행한다.
- ▶ 반도체 기술로드맵 및 고객 요구 수준에 적합한 단위공정 신뢰성 평가를 실시하고, 보완, 검증 작업을 반복 수행한다.