주요 업무
수행 직무
- ▶ 반도체소자웨이퍼검사공정연구원은 EDS 공정의 한계를 극복할 차세대 검사 기술을 연구·개발한다.
- ▶ 현재 웨이퍼 검사 방법의 분해능·속도·정확도 한계를 분석하고, 새로운 전기적 측정 기법·광학 검사 기법·AI 기반 불량 분류 알고리즘을 제안한다.
- ▶ 웨이퍼 결함 패턴 데이터를 수집·분석해 공정 이상의 근본 원인을 규명하고, 공정 조건 최적화 방안을 도출해 양산 부서에 기술 이전한다.
- ▶ 연구 결과를 학술 논문·특허로 출원하고, 국제 반도체 학회(IEDM·VLSI 등)에서 성과를 발표하는 업무도 포함된다.