주요 업무
수행 직무
- ▶ 반도체소자웨이퍼검사장비공정연구원은 ATE(자동화 테스트 장비)·프로브 스테이션·프로브 카드 등 웨이퍼 검사 장비의 공정 특성을 분석하고, 장비와 검사 공정 사이의 최적 인터페이스를 연구한다.
- ▶ 온도·접촉력·전기신호 등 장비 공정 파라미터가 웨이퍼 검사 정확도에 미치는 영향을 실험·분석하고, 장비 공정 레시피를 최적화한다.
- ▶ FDC(Fault Detection and Classification) 시스템을 활용해 장비 이상을 실시간으로 감지하고, 장비 상태와 공정 상태의 상관관계를 규명한다.
- ▶ 연구 결과를 국제 학술지·특허로 출원하고, 장비 제조사·공정 부서와 협력해 기술을 이전한다.