주요 업무
수행 직무
- ▶ 반도체소자웨이퍼검사장비부분품연구원은 프로브 카드·MEMS 프로브 핀·소켓·컨택터 등 검사 장비 부품의 소재를 선정하고, 설계·제조 공정을 연구한다.
- ▶ 텅스텐·팔라듐 합금·실리콘 MEMS 구조물의 접촉 저항·내마모성·수명을 분석하고, 코팅 기술(DLC·질화티타늄 등)을 통한 핀 수명 연장 방법을 개발한다.
- ▶ 부품 결함 메커니즘을 분석해 불량률을 낮추고, 신규 소재·공정을 제안하여 차세대 검사 장비용 부품을 개발한다.
- ▶ 연구 성과를 학술지·특허로 출원하고, 장비 제조사·공정 팀과 협력해 부품 규격을 수립한다.