주요 업무
수행 직무
- ▶ 클린룸에 입장하기 위하여 방진복을 착용하고 에어샤워를 한다.
- ▶ 이전 작업을 통해 감광물질(PR)로 된 막을 형성한 글라스에 자외선을 쪼이도록 이동시킨다.
- ▶ 노광장비(Exposure Machine)의 오퍼레이팅 파라미터에 각종 수치와 노광시간, 자외선강도 등을 입력한다.
- ▶ 기기를 작동시켜 감광액이 코팅된 글라스에 원하는 마스크 패턴을 형성하기 위하여 자외선을 조사하고 감광액을 반응시킨다.
- ▶ 이때 마스크와 글라스의 밀착평탄도, 램프안정화에 주의하면서 패턴을 정렬하여 마스크 패턴을 형성시킨다.
- ▶ 노광작업이 완료되면 자외선에 반응되어 노출이 된 부분만을 현상액을 이용하여 제거하는 현상 공정(하드베이커 공정)을 통해 원하는 패턴을 형성한다.
- ▶ 다음 공정인 식각(에칭) 공정으로 자동이동시킨다.