주요 업무
수행 직무
- ▶ 클린룸에 입장하기 위하여 방진복을 착용하고 에어샤워를 한다.
- ▶ 현상, 식각, 박리 자동화 설비의 오퍼레이팅 파라미터에 식각 시간, 솔루션 시간 등을 입력한다.
- ▶ 노광 공정을 거치면서 PR에 의해 가려진 부분을 제외한 노출 되어 있는 증착막(ITO)을 제거한다.
- ▶ 금속막의 경우는 용해제를 사용하는 습식식각(Wet Etching), 반도체와 절연체는 플라스마를 사용하는 건식식각(Dry Etching) 방법을 주로 적용한다.
- ▶ 식각 후 잔류 감광물질(PR)을 유기용제를 이용하여 제거하는 박리공정(PR Strip)을 실행시켜서 패턴형성을 완료한다.