주요 업무
수행 직무
- ▶ 세정을 마친 상판용 투명글라스(보통 고왜점 글라스, high strain glass)를 ITO 코팅시키기 위해 이동시킨다.
- ▶ 스퍼터장비의 컴퓨터를 조작하여 기판을 예열하고 스퍼터링을 시작한다.
- ▶ 방전전극으로 사용되는 투명전극(ITO)를 생성하기 위하여 투명전도층인 인듐(Sn), 주석(Sn) 산화물을 스퍼터링법으로 코팅을 한다.
- ▶ 연속적으로 글라스를 통과시키거나(인라인방식) 각각의 챔버에 글라스를 이송하여 독립적으로 공정을 진행한다(클러스터 방식).
- ▶ 감광물질인 DFR(Dry Film Photoresist)을 마스크로 이용해 산으로 화학적 식각을 한 후 노광, 현상, 에칭, 박리, 검사 등으로 ITO 패터닝(Patterning) 과정을 거친다.
- ▶ ITO 전극이 형성되면 BUS 전극의 형성을 위해 다음 공정으로 이동시킨다.